离子注入机新闻

BINP SB RAS开发俄罗斯第一台用于制造微电子领域所需的高电流离子注入机设备

俄罗斯以 G.I. Budker SB RAS 命名的核物理研究所发表文章成功创建了尖点离子源的原型，即具有尖状磁场结构 2024-12-26

2012年底，研发团队成功研制出28纳米中束流离子注入机，陈辉带着设备进驻用户单位。按规定，要在两年内完成产线工艺验证。实际上，除去大规模量产前的稳定性验证和试投产，真正留给工艺验证的时间只有一年左右。 2024-03-19