电子束检测新闻
7月28日，先进电子束晶圆检测设备项目签约活动在无锡高新区举行。据悉，电子束检测和测量技术、设备研发是IC装备、半导体制造、控制领域至关重要的核心环节之一，是集成电路技术中能够检测和测量集成电路图案结构中最小缺陷的唯一方案。
2022-08-02
公开信息显示，东方晶源是国内电子束检测、量测设备领先厂商，曾承担国家02重大专项—电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目并验收通过;首台套电子束缺陷检测设备(EBI)已完成产线验证并获得重复订单。东方晶源在电子束检测、量测领域已填补多项国内空白。
2022-04-02
在过去的几年中，美国能源部SLAC国家加速器实验室的研究人员一直在开发「虚拟诊断」，该检测方法利用机器学习实现有效且无干扰地获得有关电子束质量的关键信息。最新的研究成果于近日发表在《自然·科学报告》(NatureScientific Reports)杂志上。
2021-04-07
