近日，东方晶源积极组织设备交付工作，旗下电子束缺陷检测(EBI)和关键尺寸量测(CD-SEM)两台设备已顺利交付上海客户。
据悉，本次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515，面向300mm硅片工艺制程，除具备高灵敏度电性和物理缺陷检测、解决28nm及以上良率问题、自主创新的高性能缺陷检测引擎(DNA数据库)、基于深度学习的缺陷自动分类(ADC)算法等产品特点外，还在上一代产品的基础上优化升级，具有更高的TPT和更优的平台设计，设备运行效率、性能指标均有大幅提升。
另一台交付的产品为关键尺寸量测设备，型号为SEpA-c410，面向300mm硅片工艺制程，通过电子束成像系统和高速硅片传输方案，搭配量测算法，可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。
东方晶源成立于2014年，主要产品为纳米级电子束缺陷检测装备(EBI)和关键尺寸量测装备(CD-SEM)、计算光刻产品(OPC)以及微电子设计与制造智能良率优化平台(HPOTM)。据悉，去年6月份，其首台12英寸CD-SEM出机;今年4月份，首台8英寸关键尺寸量测装备(CD-SEM)出机。
